工業CT射線源常用有X光機和電子直線加速器，統稱電子輻射發生器。電子輻射發生器的共同優點是切斷電源以后不再產生射線，這種內在的安全性對于工業現場使用非常有益。

  同位素輻射源的優點是它的能譜簡單，同時消耗電能很小，設備體積小且相對簡單；其缺點是輻射源的強度低，為了提高工業CT射線源的強度加大源的體積，導致“焦點”尺寸增大，導致分辨率指標不理想，故在工業CT中較少實際應用。

  X光機

射線能量可調，能量≤450kV，

電子直線加速器

射線源能量不可調，實際使用的峰值能量范圍1~16MeV，更高的能量雖可以達到，主要僅用于實驗。

實際應用中，射線源的選擇主要取決于被檢工件的壁厚，同時也要考慮費用問題。表1列出了幾種材料對于一些特征能量下執行加速器X射線的半值層厚度。

照相：可穿透等效鋼厚度通常為10個半值層

CT：可穿透等效鋼厚度通常為7個半值層

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